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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.370-370
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
Mechanical Characteristics of the hard-polydimethylsiloxane for Smart Lithography
Kim, Gi-Hwan
;
Song, Na-Yeong
;
Chu, Byeong-Gwon
;
Park, Gyu-Chang
;
Jang, Jin
김기환
(경희대학교 정보디스플레이학과) ;
송나영
(경희대학교 정보디스플레이학과) ;
추병권
(경희대학교 정보디스플레이학과) ;
박규창
(경희대학교 정보디스플레이학과) ;
장진
(경희대학교 정보디스플레이학과)
Published : 2007.08.15
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