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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.343-343
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
The effect of C incorporation pathway in SiGeC intermediate layer assisted SiGe layer relaxation
Kim, Hyeon-U
;
Sin, Geon-Uk
;
Yun, Ui-Jun
김현우
(서울대학교 재료공학부 반도체 에피 성장 연구실) ;
신건욱
(서울대학교 재료공학부 반도체 에피 성장 연구실) ;
윤의준
(서울대학교 재료공학부 반도체 에피 성장 연구실)
Published : 2007.08.15
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