Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

InGaAs 완충층의 In 조성과 성장 정지 과정에 따른 InAs양자점 표면 형상 관찰

  • 양창재 (서울대학교 재료공학부 반도체 에피 성장 연구실) ;
  • 김정섭 (서울대학교 재료공학부 반도체 에피 성장 연구실) ;
  • 심욱 (서울대학교 재료공학부 반도체 에피 성장 연구실) ;
  • 윤의준 (서울대학교 재료공학부 반도체 에피 성장 연구실)
  • Published : 2007.08.15
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