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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.323-323
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
Cu 금속 배선에 적용되는 질소와 탄소를 첨가한 W-C-N 확산방지막의 질소불순물 거동 연구
Kim, Su-In
;
Lee, Chang-U
김수인
(국민대학교 나노전자물리학과) ;
이창우
(국민대학교 나노전자물리학과)
Published : 2007.08.15
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