저압공정 중 발생하는 나노입자의 실시간 측정장비에 관한 연구

  • 나정길 (성균관대학교 기계공학부) ;
  • 조대근 (성균관대학교 나노과학기술원) ;
  • 최재봉 (성균관대학교 기계공학부) ;
  • 김영진 (성균관대학교 기계공학부, 성균관대학교 나노과학기술원) ;
  • 김태성 (성균관대학교 기계공학부, 성균관대학교 나노과학기술원)
  • 발행 : 2007.08.15