Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

진공부품용 $Al_2O_3$ 피막의 공정영향평가

  • 유승민 (대전대학교 신소재공학과) ;
  • 윤주영 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 강상우 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 신재수 (대전대학교 신소재공학과) ;
  • 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩)
  • Published : 2007.08.15
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