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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.304-304
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
다층 구조 Silicon Carbide 나노 입자를 사용한 나노 부유 게이트 커패시터의 형성 방법과 전기적 특성 연구
Lee, Tae-Hui
;
Lee, Dong-Uk
;
Kim, Seon-Pil
;
Kim, Eun-Gyu
이태희
(한양대학교 물리학과) ;
이동욱
(한양대학교 물리학과) ;
김선필
(한양대학교 물리학과) ;
김은규
(한양대학교 물리학과)
Published : 2007.08.15
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