Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

CrN/CrAlN 초격자 박막의 미세구조 및 기계적 특성

  • 변태준 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 김연준 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 이호영 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 철원 플라즈마 신소재연구소) ;
  • 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 신윤하 (성균관대학교 트라이볼로지 연구실) ;
  • 이영제 (성균관대학교 트라이볼로지 연구실)
  • Published : 2007.08.15
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Abstract

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