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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.301-301
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
CrN/Cu 초격자 박막의 초격자 주기에 따른 효과
Kim, Yeon-Jun
;
Lee, Ho-Yeong
;
Byeon, Tae-Jun
;
Han, Jeon-Geon
;
Sin, Yun-Ha
;
Lee, Yeong-Je
김연준
(성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
이호영
(성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 철원 플라즈마 산업기술연구원 플라즈마 신소재연구소) ;
변태준
(성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
한전건
(성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
신윤하
(성균관대학교 트라이볼로지 연구실) ;
이영제
(성균관대학교 트라이볼로지 연구실)
Published : 2007.08.15
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Abstract
Keywords
CrN/Cu
;
superlattice