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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.298-298
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
이온빔 스퍼터링과 열처리를 이용해 제작한 Ge 나노결정/
$SiO_2$
다층박막의 특성 연구
Hong, Seung-Hwi
;
Hwang, Seong-Won
;
Lee, Do-Gyu
;
Choe, Seok-Ho
;
Kim, Gyeong-Jung
홍승휘
(경희대학교 물리 및 응용물리학과) ;
황성원
(경희대학교 물리 및 응용물리학과) ;
이도규
(경희대학교 물리 및 응용물리학과) ;
최석호
(경희대학교 물리 및 응용물리학과) ;
김경중
(한국표준과학연구원 전략기술부 첨단산업측정그룹)
Published : 2007.08.15
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