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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.293-293
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
DC magnetron sputtering에 의해 제조된
$SnO_2:Sb$
투명전도막의 특성
Lee, Seong-Uk
;
Choe, Won-Seok
;
Park, Mi-Ju
;
Kim, Hyeong-Jin
;
Hong, Byeong-Yu
이성욱
(성균관대학교 정보통신공학부) ;
최원석
(성균관대학교 정보통신공학부) ;
박미주
(성균관대학교 정보통신공학부) ;
김형진
(성균관대학교 정보통신공학부) ;
홍병유
(성균관대학교 정보통신공학부, 플라즈마 응용표면 기술연구 센터)
Published : 2007.08.15
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