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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.288-288
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
대항 타겟식 스퍼터법을 이용한 IZO 박막의 특성
Im, Yu-Seung
;
Kim, Sang-Mo
;
Kim, Gyeong-Hwan
임유승
(경원대학교 전기공학과) ;
김상모
(경원대학교 전기공학과) ;
김경환
(경원대학교 전기공학과)
Published : 2007.08.15
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