MOCVD법을 이용한 InN 에피 성장 및 2단계 성장법이 박막의 표면 및 구조적 성질에 미치는 영향

• Lee, Geon-Hun ;
• Kim, Hui-Jin ;
• Na, Hyeon-Seok ;
• Kim, Dong-Hyeok ;
• O, Seung-Su ;
• Park, Seong-Hyeon ;
• Kim, Jong-Hak ;
• Seong, Tae-Yeon ;
• Yun, Ui-Jun

• 이건훈 (서울대학교 재료공학부) ;
• 김희진 (서울대학교 재료공학부) ;
• 나현석 (고려대학교 신소재공학부) ;
• 김동혁 (서울대학교 재료공학부) ;
• 오승수 (서울대학교 재료공학부) ;
• 박성현 (서울대학교 재료공학부) ;
• 김종학 (서울대학교 재료공학부) ;
• 성태연 (고려대학교 신소재공학부) ;
• 윤의준 (서울대학교 재료공학부)

• Published : 2007.08.15

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