Hexamethyldisiloxane과 Neohexane 단량체를 이용하여 플라즈마 중합된 저유전상수 갖는 박막의 증착파워 변화에 따른 특성연구

• U, Ji-Hyeong ;
• Lee, Seong-U ;
• Mun, Mi-Ran ;
• Jeong, Dong-Geun ;
• Jo, Sang-Jin ;
• Bu, Jin-Hyo ;
• Chae, Hui-Yeop ;
• Bae, Geun-Hak

• 우지형 (성균관대학교 물리학과) ;
• 이성우 (성균관대학교 물리학과) ;
• 문미란 (성균관대학교 물리학과) ;
• 정동근 (성균관대학교 물리학과) ;
• 조상진 (성균관대학교 화학과) ;
• 부진효 (성균관대학교 화학과) ;
• 채희엽 (성균관대학교 화학공학과) ;
• 배근학 ((주)ATTO)

• Published : 2007.08.15

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