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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.256-256
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
Si(100)에서의 플라즈마 이온주입 방법으로 도핑된 Boron의 거동연구
Seo, Jeong-Hye
;
Lee, U-Jeong
;
Jeong, Gwang-Su
;
Lee, Yeon-Seung
;
Na, Sa-Gyun
;
Lee, Won-Jun
서정혜
(한밭대학교 정보통신공학과) ;
이우정
(한밭대학교 정보통신공학과) ;
정광수
(한밭대학교 재료공학과) ;
이연승
(한밭대학교 정보통신공학과) ;
나사균
(한밭대학교 재료공학과) ;
이원준
(세종대학교 신소재공학과)
Published : 2007.08.15
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