Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Magnetron sputtering법을 이용하여 합성한 다층 카본 박막의 특성평가

  • 황윤철 (한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구센터) ;
  • 나종주 (한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구센터) ;
  • 권식철 (한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구센터)
  • Published : 2007.08.15
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