Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Characteristics of Silicon-incorporated diamond-like carbon films by RF chemical vapor depositionmultilayer films

  • 오정석 (창원대학교 메카트로닉스공학부) ;
  • 송정일 (창원대학교 기계공학과) ;
  • 김태규 (부산대학교 나노시스템공정학과) ;
  • 박기욱 (부산대학교 나노시스템공정학과)
  • Published : 2007.08.15
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