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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.251-251
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
보론도핑 CVD 다이아몬드 박막의 특성연구
Kim, Tae-Gyu
;
Jeong, Chang-Gu
;
Kim, Hyeon-Su
;
O, Jeong-Seok
;
Song, Jeong-Il
김태규
(부산대학교 나노시스템공정학과) ;
정창구
(부산대학교 나노시스템공정학과) ;
김현수
(부산대학교 나노시스템공정학과) ;
오정석
(창원대학교 메카트로닉스공학부) ;
송정일
(창원대학교 기계공학과)
Published : 2007.08.15
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