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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.246-246
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
HR-XRD로 측정된
$Si_{1-X}Ge_X$
에피 박막의 조성 및 두께 결과 신뢰성 검증
Ha, Min-Su
;
Choe, Min-Gi
;
Lee, Tae-Gwon
;
Park, Yun-Baek
;
Lee, Sun-Yeong
하민수
(하이닉스 반도체(주) 연구소 분석개발팀) ;
최민기
(하이닉스 반도체(주) 연구소 분석개발팀) ;
이태권
(하이닉스 반도체(주) 연구소 분석개발팀) ;
박윤백
(하이닉스 반도체(주) 연구소 분석개발팀) ;
이순영
(하이닉스 반도체(주) 연구소 분석개발팀)
Published : 2007.08.15
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