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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.240-240
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
rf-마그네트론 스퍼터링 성장압력이 인이 도핑된 p형 산화아연 박막의 구조적, 전기적, 광학적 특성에 미치는 영향
Hwang, Dae-Gyu
;
O, Min-Seok
;
Choe, Yong-Seok
;
Park, Seong-Ju
황대규
(광주과학기술원 신소재공학과) ;
오민석
(광주과학기술원 신소재공학과) ;
최용석
(광주과학기술원 신소재공학과) ;
박성주
(광주과학기술원 신소재공학과)
Published : 2007.08.15
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