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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.235-235
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
실리콘 나노 결정이 포함된 실리콘 질화물 박막의 광반응성
Kim, Sang-Gyun
;
Kim, Baek-Hyeon
;
Jo, Chang-Hui
;
Park, Seong-Ju
김상균
(광주과학기술원 신소재공학과) ;
김백현
(광주과학기술원 신소재공학과) ;
조창희
(광주과학기술원 신소재공학과) ;
박성주
(광주과학기술원 신소재공학과)
Published : 2007.08.15
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