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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.228-228
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
TFT-LCD 제조에 사용되는 진공 공정과 플라즈마의 특성
Choe, Hui-Hwan
최희환
(한국항공대학교 항공전자정보통신공학부)
Published : 2007.08.15
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