Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

플라즈마트론에 의한 실리콘의 texturing 식각

  • 이헌주 (제주대학교 기계에너지시스템공학부) ;
  • ;
  • 김지훈 (제주대학교 기계에너지시스템공학부) ;
  • 임찬주 (제주대학교 기계에너지시스템공학부) ;
  • 고민국 (제주대학교 기계에너지시스템공학부)
  • Published : 2007.08.15
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Abstract

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