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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.201-201
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
플라즈마트론에 의한 실리콘의 texturing 식각
Lee, Heon-Ju
;
Plaksin, Vadim
;
Kim, Ji-Hun
;
Im, Chan-Ju
;
Go, Min-Guk
이헌주
(제주대학교 기계에너지시스템공학부) ;
;
김지훈
(제주대학교 기계에너지시스템공학부) ;
임찬주
(제주대학교 기계에너지시스템공학부) ;
고민국
(제주대학교 기계에너지시스템공학부)
Published : 2007.08.15
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