저온 프로세스에 의한 다결정 실리콘계 박막의 제작

  • 이철홍 (전북대학교 전기공학과) ;
  • 윤상민 (전북대학교 전기공학과) ;
  • 최병정 (전북대학교 전기공학과) ;
  • 양성채 (전북대학교 전기공학과)
  • Published : 2007.08.15