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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.199-199
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
저온 프로세스에 의한 다결정 실리콘계 박막의 제작
Lee, Cheol-Hong
;
Yun, Sang-Min
;
Choe, Byeong-Jeong
;
Yang, Seong-Chae
이철홍
(전북대학교 전기공학과) ;
윤상민
(전북대학교 전기공학과) ;
최병정
(전북대학교 전기공학과) ;
양성채
(전북대학교 전기공학과)
Published : 2007.08.15
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