Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

증착조건에 따른 인듐 위에 증착된 hexamethyldisiloxane 박막의 특성 분석

  • 조상완 (연세대학교 물리및응용물리사업단) ;
  • 최성창 (송도테크노파크 나노표면기술실) ;
  • 조만호 (연세대학교 물리및응용물리사업단) ;
  • 정광호 (연세대학교 물리및응용물리사업단) ;
  • 황정남 (연세대학교 물리및응용물리사업단)
  • Published : 2007.08.15
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords