한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2007년도 제33회 하계학술대회 초록집
- /
- Pages.139-139
- /
- 2007
A Multiple Internal Reflection FTIR Study of the Atomic Layer Deposition of $Al_2O_3$
- 발행 : 2007.08.15