공정용 건식 저 진공 펌프의 stator/rotor 교체에 따른 운전 특성

• Choe, Hak-Yong ;
• Im, Jong-Yeon ;
• Jeong, Wan-Seop ;
• Park, Sang-Myeong ;
• Seong, Dae-Jin ;
• Sin, Yong-Hyeon

• 최학용 (건양대학교) ;
• 임종연 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 정완섭 (한국표준과학연구원 역학그룹 음향진동) ;
• 박상명 (한국표준과학연구원 역학그룹 음향진동) ;
• 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩)

• Published : 2007.08.15

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