Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2007.08a
/
Pages.118-118
/
2007

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

스퍼터이온펌프의 소형${\cdot}$경량화 방법

하태균 (포항공과대학교) ;
김경동 (브이엠티(주)) ;
정진국 (브이엠티(주)) ;
김진곤 (브이엠티(주)) ;
정석민 (포항공과대학교)

Published : 2007.08.15

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords