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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.111-111
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
드라이 에칭 프로세스의 플라즈마 쉬스 모델링
Yu, Gwang-Jun
;
Lee, Se-Yeon
;
Park, Il-Han
유광준
(성균관대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
이세연
(성균관대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
박일한
(성균관대학교 전자전기컴퓨터공학부)
Published : 2007.08.15
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