Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2007.08a
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- Pages.110-110
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- 2007
오염된 MgO 보호막의 스퍼터링 수율 측정
- Jo, Seok-Ho ;
- Jeong, Seung-Jun ;
- Song, Gi-Baek ;
- O, Hyeon-Ju ;
- Jo, Gwang-Seop ;
- Gang, Seung-Eon ;
- Choe, Eun-Ha
- 조석호 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실/PDP 연구센터) ;
- 정승준 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실/PDP 연구센터) ;
- 송기백 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실/PDP 연구센터) ;
- 오현주 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실/PDP 연구센터) ;
- 조광섭 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실/PDP 연구센터) ;
- 강승언 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실/PDP 연구센터) ;
- 최은하 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실/PDP 연구센터)
- Published : 2007.08.15
Abstract
Keywords