Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구

  • 임종혁 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 박정균 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 김경남 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 2007.08.15
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