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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.97-97
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
Im, Jong-Hyeok
;
Park, Jeong-Gyun
;
Kim, Gyeong-Nam
;
Yeom, Geun-Yeong
임종혁
(성균관대학교 신소재공학과) ;
박정균
(성균관대학교 신소재공학과) ;
김경남
(성균관대학교 신소재공학과) ;
염근영
(성균관대학교 신소재공학과)
Published : 2007.08.15
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