Flexible FPD의 확산방지막으로 적용키 위한 상압 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 $SiO_2$ 박막 증착에 관한 연구

• Lee, Jun-Hui ;
• Pham, Thuy T.T. ;
• Kim, In-Gyo ;
• Yeom, Geun-Yeong

• 이준희 (성균관대학교 신소재 공학과) ;
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• 김인교 (성균관대학교 신소재 공학과) ;
• 염근영 (성균관대학교 신소재 공학과)

• Published : 2007.08.15

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