Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

주파수 위상차 제어를 통한 증착 및 식각공정에서의 Non-Uniformity 개선에 관한 연구

  • 한문형 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 노용한 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 성덕용 (삼성전자 생산기술연구소)
  • Published : 2007.08.15
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