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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.90-90
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
주파수 위상차 제어를 통한 증착 및 식각공정에서의 Non-Uniformity 개선에 관한 연구
Han, Mun-Hyeong
;
No, Yong-Han
;
Seong, Deok-Yong
한문형
(성균관대학교 정보통신공학부) ;
노용한
(성균관대학교 정보통신공학부) ;
성덕용
(삼성전자 생산기술연구소)
Published : 2007.08.15
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