Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Multi-segment antenna를 이용한 실리콘 산화막의 식각 모델링

  • 양원균 (군산대학교 신소재 나노화학 공학부) ;
  • 주정훈 (군산대학교 신소재 나노화학 공학부) ;
  • 서화일 (한국기술교육대학교 반도체장비기술교육센터)
  • Published : 2007.08.15
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Abstract

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