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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.87-87
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
Multi-segment antenna를 이용한 실리콘 산화막의 식각 모델링
Yang, Won-Gyun
;
Ju, Jeong-Hun
;
Seo, Hwa-Il
양원균
(군산대학교 신소재 나노화학 공학부) ;
주정훈
(군산대학교 신소재 나노화학 공학부) ;
서화일
(한국기술교육대학교 반도체장비기술교육센터)
Published : 2007.08.15
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