평판형 디스플레이 공정을 위한 내장형 유도 결함 플라즈마 소스에 관한 연구

  • 박정균 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 임종혁 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 김경남 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2007.08.15