Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Ne 중성빔을 이용한 InP 의 원자층 식각에 관한 연구

  • 박상덕 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 임웅선 (성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
  • 배정운 (성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재공학과, 성균나노과학기술원, 테라급나노소자개발사업단)
  • Published : 2007.08.15
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