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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.80-80
/
2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
내장형 유도결합 플라즈마 소스를 이용한 나노 다결정 실리콘 증착 및 특성 연구
Kim, Heung-Beom
;
Lee, Hyeong-Cheol
;
Yeom, Geun-Yeong
김흥범
(성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
이형철
(성균관대학교 신소재공학과) ;
염근영
(성균관대학교 성균나노과학기술원, 성균관대학교 신소재공학과)
Published : 2007.08.15
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