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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.77-77
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
ArF Photoresist와 EUVL Photoresist의 식각특성 비교
Gwon, Bong-Su
;
Lee, Hak-Ju
;
Lee, Nae-Eung
;
Lee, Seong-Gwon
권봉수
(성균관대학교 신소재공학과) ;
이학주
(성균관대학교 신소재공학과) ;
이내응
(성균관대학교 신소재공학과) ;
이성권
(하이닉스 반도체(주))
Published : 2007.08.15
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