A Study of $SF_6$ Treatment using Principles of Gas Hydrate Formation

가스 하이드레이트 형성 원리를 이용한 $SF_6$ 처리 기술에 관한 연구

  • 이보람 (부산대학교 재료공학과) ;
  • 이현주 (부산대학교 재료공학과) ;
  • 김양도 (부산대학교 재료공학부) ;
  • 류영복 (한국생산기술 연구원 차세대생산공정팀) ;
  • 이만식 (한국생산기술 연구원 차세대생산공정팀) ;
  • 김영석 (한국생산기술 연구원 차세대생산공정팀) ;
  • 이주동 (한국생산기술 연구원 차세대생산공정팀)
  • Published : 2007.06.21

Abstract

$SF_6$(sulfur hexafluoride)는 뛰어난 단열 및 아크방지능력(arc-extinguishingproperty)으로 인해, 전력용 변압기의 절연가스와 반도체${\cdot}$액정용 플라즈마 CVD로의 cleaning gas, 주물공장 covering gas 등으로 사용되고 있다. 하지만, $SF_6$의 지구온난화지수(global warming potential)는 $CO_2$대비 23,900배가 높아 기후변화에 미치는 영향이 $CO_2$보다 훨씬 크고, 대기 중 분해되지 않고 잔존하는 기간이 $CH_4$ 10년, $CO_2$ 및 CFCs는 100년으로 추정되는데 반해, $SF_6$는 3,200년으로 연간방출양이 작더라도 오랜 기간 누적되면 그 파장이 클 것으로 사료된다. 대부분의 가스 하이드레이트(고상결정상태)는 고압, 저온에서 형성가능 하지만, 불화가스에 대해서는 쉽게 결정화가 일어난다. $SF_6$는 3$^{\circ}C$, 2기압에서 고밀도 고상화가 되기 때문에 여러 기체와 흔합되어 있는 경우 $SF_6$만을 압축된 고상 결정상태를 형성, $SF_6$를 회수, 정제할 수 있으므로 불화가스 분리${\cdot}$회수에 기술적, 경제적 효과를 기대할 수 있다. 본 연구에서는 하이드레이트 촉진제로서 계면활성제(promoter) 첨가에 따른 $SF_6$ 하이드레이트 형성 및 해리과정 실험을 통해 효율적인 $SF_6$ 저감에 관한 적용기술을 연구해 보았다.

Keywords