Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology (한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집)

The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology (한국반도체디스플레이기술학회)
권호 표지

산소 이론 빔 보조 증착 방법으로 형성된 PDP MgO 보초막의 특성 연구

  • 권상직 (경원대학교 전기전자공학과) ;
  • 이조휘 (경원대학교 전기전자공학과) ;
  • 안민형 (경원대학교 전기전자공학과) ;
  • 홍성재 (경원대학교 전기전자공학과)
  • Published : 2007.06.08
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

MgO 보호막은 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, PDP)의 보호막으로 널리 쓰이고 있다. 본 실험에서는 산소 이온 빔 보조 증착(IBAD) 방법으로 형성된 MgO 보호막의 특성을 조사하였다. MgO 증착시 보조산소이온 빔의 에너지를 변화시킴에 따라 MgO 보호막의 특성과 PDP 패널 발광 특성에 미치는 영향을 분석하였다. 본 연구에서는 산소 이온 에너지가 300 eV 일때 소자의 방전개시 전압이 가장 낮게 나타났다. 또한 산소 이온빔의 조사에너지에 따라 MgO 박막의 결정성 및 표면조도가 크게 영향을 받는 것을 확인할 수 있었다.

Keywords