Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Growth and characterization of ZnO hybrid structure grown by MOCVD

MOCVD로 성장된 ZnO 하이브리드 구조의 합성과 특성 분석

  • Choi, Mi-Gyung (Sungkyunkwan University, School of Advanced Materials Science & Engineering) ;
  • Park, Ji-Woong (Sungkyunkwan University, School of Advanced Materials Science & Engineering) ;
  • Kim, Joo-Hui (Sungkyunkwan University, School of Advanced Materials Science & Engineering) ;
  • Min, Hae-Jung (Sungkyunkwan University, School of Advanced Materials Science & Engineering) ;
  • Heo, Han-Na (Sungkyunkwan University, School of Advanced Materials Science & Engineering) ;
  • Kim, Dong-Chan (Sungkyunkwan University, School of Advanced Materials Science & Engineering) ;
  • Kong, Bo-Hyun (Sungkyunkwan University, School of Advanced Materials Science & Engineering) ;
  • Cho, Hyung-Koun (Sungkyunkwan University, School of Advanced Materials Science & Engineering)
  • 최미경 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 박지웅 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 김주희 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 민해정 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 허한나 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 김동찬 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 공보현 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 조형균 (성균관대학교 신소재공학부)
  • Published : 2007.06.21
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Abstract

ZnO 나노막대는 산화물 반도체로서 넓은 밴드캡 (3.37eV)을 가진 반도체이며, 테라급의 전계 효과 트랜지스터(FET), 대기오염물질 모니터링 센서, 태앙전지용 전극, UV 발광소자, 전계방출 디스플레이의 팀 등 나노기술 전반에 활용해 최근 각광을 받고 있는 물질이다. 최근 디바이스 응용의 효율을 높이기 위한 방편으로 나노막대에서 박막으로의 연구가 활발하다. 본 실험은 MOCVD률 이용하여 p-si 기판위에 나노막대를 성장시킨 후 압력 및 온도 등의 공정변수를 조절하여 나노막대에서 박막으로 성장형태를 변화시켰다. SEM으로 1 차원 나노막대에서 2차원의 나노박막으로 성장이 된 ZnO 하이브리드 구조를 확인할 수 있었다. 또, PL장비를 이용해 ZnO의 UV영역의 파장을 확인할 수 있었다.

Keywords