Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Sintering Behavior and Microwave Dielectric Propel1ies of Mg-Si-O Ceramics with Glass Frit for LTCC Substrate

Glass firt 첨가에 따른 저온 동시소성 기판용 Mg-Si-O계 세라믹스의 소결거동 및 마이크로파 유전특성

  • Cho, Jung-Hwan (Dept. of Materials Science and Engineering, Korea University) ;
  • Yeo, Dong-Hun (System Module Team, Fusion Technology Division, Korea Institute of Ceramic Eng. & Tech.) ;
  • Shin, Hyo-Soon (System Module Team, Fusion Technology Division, Korea Institute of Ceramic Eng. & Tech.) ;
  • Kim, Jong-Hee (System Module Team, Fusion Technology Division, Korea Institute of Ceramic Eng. & Tech.) ;
  • Nahm, Sahn (Dept. of Materials Science and Engineering, Korea University)
  • 조정환 (고려대학교 신소재공학부) ;
  • 여동훈 (요업기술원 융복합기술본부 시스템모듈팀) ;
  • 신효순 (요업기술원 융복합기술본부 시스템모듈팀) ;
  • 김종희 (요업기술원 융복합기술본부 시스템모듈팀) ;
  • 남산 (고려대학교 신소재공학부)
  • Published : 2007.06.21
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Abstract

Mg-Si-O계 세라믹스에 glass frit 조성을 첨가하여 저온에서의 소결 특성 및 마이크로파 유전 특성을 연구하였다. 기존의 Mg-Si-O계 세라믹스는 우수한 유전특성을 가지고 있으나 높은 소결온도로 인하여 LTCC용 기판 소재로 적용이 어려웠다. 본 연구에서는 MgO, $SiO_2$를 이용하여 $Mg_2SiO_4$을 합성한 후, $B_2O_3-ZnO-Na_2O-SiO_2-Al_2O_3$계 glass 조성을 20~40wt%로 첨가하여 소결온도를 감소시켜 LTCC 기판 소재로서의 적용성을 고찰하였다. glass frit 함량이 증가함에 따라 밀도($g/cm^3$) 및 유전율(${\varepsilon}_r$)은 증가하였고 품질계수($Qxf_0$)값은 감소하였다. glass frit 함량이 40wt%일때 $900^{\circ}C$에서 1시간 소결한 소결체의 유전톡성은 유전율 (${\varepsilon}_4$) = 6.5. 품질계수 ($Qxf_0$) = 4,000(GHz), 온도계수 $(\tau_t)\;=\;{\pm}\;10ppm/^{\circ}C$로 우수한 특성을 확인하였다.

Keywords