Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Dielectric Properties in Cordierite/Glass Composite for LTCC Material

LTCC소재용 Cordierite/Glass Composite계의 유전특성 변화

  • Hwang, Il-Sun (System Module Team, Div. of Fusion Tech. Korea Institute of Ceramic Eng. & Tech.) ;
  • Shin, Hyo-Soon (System Module Team, Div. of Fusion Tech. Korea Institute of Ceramic Eng. & Tech.) ;
  • Yeo, Dong-Hun (System Module Team, Div. of Fusion Tech. Korea Institute of Ceramic Eng. & Tech.) ;
  • Kim, Jong-Hei (System Module Team, Div. of Fusion Tech. Korea Institute of Ceramic Eng. & Tech.)
  • 황일선 (요업기술원, 융복합기술본부 시스템모듈팀) ;
  • 신효순 (요업기술원, 융복합기술본부 시스템모듈팀) ;
  • 여동훈 (요업기술원, 융복합기술본부 시스템모듈팀) ;
  • 긴종희 (요업기술원, 융복합기술본부 시스템모듈팀)
  • Published : 2007.06.21
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Abstract

고주파 모률에서 사용되는 기판소재는 저유전율과 낮은 loss 특성을 요구함으로 지속적인 연구를 필요로 한다. 지금까지의 ceramic/glass composite 에서 주로 사용된 ceramic filler는 Al2O3로 낮은 유전률을 구현에 한계가 있었다. Cordierite는 낮은 유전율 (${\varepsilon}_r$ < 4)을 나타내는 filler로서 그 가능성이 높지만 아직까지 보고된 결과들이 미흡한 실정이다. 따라서 본 연구에서는 cordierite filler와 SiO2-B2O3-Al2O3-RO (R : Zn, Sr, Ba, Ca)계의 glass를 혼합하여 LTCC용 기판소재로서의 가능성을 확인하고자 저온 동시소성이 가능한 소결온도인 $850^{\circ}C{\sim}1.000^{\circ}C$ 사이에서 소재의 소결실험을 진행하였다. 소결온도에 따른 상변화, 유전특성을 확인한 결과 filler로 사용된 cordierite상만이 관찰 되었으며 소결조건에 따라 5.0~5.5의 낮은 유전율과 1.000~1,500의 Q를 나타내는 것을 확인 하였다.

Keywords