Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Self-assembled moolayers as anti-stiction coating for imprint

임프린트를 위한 자기조립단분자 이형코팅

  • 이상문 (삼성전기 주식회사 중앙연구소 eMD center) ;
  • 나승현 (삼성전기 주식회사 중앙연구소 eMD center) ;
  • 조재춘 (삼성전기 주식회사 중앙연구소 eMD center)
  • Published : 2007.06.21
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Ni stamper위에 100nm의 Si 코팅후 자기조립 단문자막(SAM)을 액상 코팅방식으로 형성 하였고, 내구성 및 열적 안정성을 검증하기 위해 반복적인 이형 및 압력인가test가 실시하였다. 20 회 이상의 이형실험을 통해 열적, 기계적 안정성을 확인하고, 접촉각 측정을 통해 이형특성의 안정성도 고찰하였다. 이를 Imprint공법을 적용 fine pattern의 구조물을 얻을수 있었다. SAM코팅은 TRICHLOROSILANE을 사용하였으며 Hexane과 1000:1의 비율로 섞어서 stirrer에서 mixing하는 방식을 사용했으며, UV-ozone처리를 통한 이형성 제거 효과도 관찰하였다.

Keywords