Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2007.06a
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- Pages.188-188
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- 2007
Influence of wet-etching on the structural and electrical properties of ZnO films
스퍼터로 증착된 ZnO:Al 박막의 습식 슥각에 따른 특성 변화
- Lee, Dong-Jin (Kunsan Nat. Univ.) ;
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Lee, Jae-Hyeong
(Kunsan Nat. Univ.)
;
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Jung, Hak-Kee
(Kunsan Nat. Univ.)
;
- Song, Jun-Tae (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Lim, Dong-Gun (Chungju Nat. Univ.) ;
- Yang, Kea-Joon (Chungju Nat. Univ.)
- Published : 2007.06.21
Abstract
ZnO 박막은 넓은 밴드갭과 가시광 영역에서의 높은 투과 및 제조조건에 따른 비저항의 범위가 크게 달라짐으로 태앙전지, 디스플레이등의 투명 전극등에 널리 응용되어지고 있다. 본 살험에서는 이러한 장점을 갖는 ZnO 박막을 먼저 r. f.-sputter 법으로 제조하여 습식으로 식각하였다. 식각된 ZnO 필름은 OLED 및 디스플레이의 적용에 필요한 식각율과 표면구조 전기적 특성을 조사하였다.